AMP-20SA 能夠高效的去除材料表面有機(jī)污染物以及自然氧化層，活化材料表面，提高粘接、焊接的質(zhì)量，且不會對物料造成物理轟擊損傷，也可用于光刻膠去除、聚合物表面活化等應(yīng)用。
等離子激發(fā)頻率 | 2.45GHz |
等離子激發(fā)功率 | 100-2000W |
工藝腔室材質(zhì) | 鋁合金 6061 |
工藝腔室內(nèi)部尺寸 | 寬370mm x 深560mm x 高110mm |
工藝氣路 | （標(biāo)配） 2條工藝氣路， 不銹鋼拋光管路及管接頭， 每條氣路配質(zhì)量流量計(jì)精確控制 |
適用的工藝氣體 | O2, Ar, Ar/H2, N2, N2/H2，CF4等 |
真空泵 | 雙級旋片真空泵或無油干泵，抽速 60m3/h |
控制系統(tǒng) | Windows觸摸屏工控機(jī)+PLC控制，持手動操作和自動操作，工藝配方程序編輯/存儲/運(yùn)行，工藝數(shù)據(jù)自動記錄和顯示 |
設(shè)備外形尺寸及重量 | 寬920mm x 深1300mm x 高1800mm(不含三色燈)，500kg（含泵） |
供電要求 | AC380V 3P+N+PE, 5.5KW（含真空泵） ，50Hz |
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
高密度等離子體
無物理損傷
超短清洗時間
強(qiáng)效去氧化作用
高均勻性清洗效果
支持自動化生產(chǎn)(可選)
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