MWD-12是一款高效桌上型微波等離子清洗機(jī)，主要用于材料表面微觀凈化、活化、改性、去氧化、去膠等處理，具有高效和無損傷的特點(diǎn)，適合于研發(fā)、小批量生產(chǎn)領(lǐng)域。
腔體內(nèi)部尺寸 | W225×H225×D225mm |
微波功率 | 2.45 GHz，100-500W可調(diào) |
工藝氣路 | 標(biāo)準(zhǔn)2路，包括質(zhì)量流量計(jì)和控制電磁閥等 |
真空規(guī) | Pirani真空計(jì) |
控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏控制 |
真空泵 | 雙級(jí)旋片式真空泵或無油干泵 |
電源 | 380V，50/60Hz，3.3KW 含真空泵 |
外形尺寸 | W900×H645×D720mm |
主要應(yīng)用 | 材料表面有機(jī)污染物去除、表面活化、氧化物還原、光刻膠底膜去除以及表面聚合涂層等 |
【配置選項(xiàng)】
真空系統(tǒng)、額外工藝氣路、清洗擱架、頂/側(cè)裝微波源、軟啟動(dòng)和慢速充氣、法拉第網(wǎng)、其它定制選件
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
無損傷清洗、完美兼顧物理和化學(xué)清洗方式、超潔凈清洗效果、優(yōu)秀的去氧化清洗能力、工藝溫度低
English
